中商情報網訊：光刻機是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術，把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。為了避免在芯片產能爬坡時被外界的設備供應給“卡脖子”，國產光刻機正在加快突破。
一、產業(yè)鏈
中國光刻機產業(yè)鏈上游為材料、設備及組件；中游為不同類型光刻機，包括有掩膜光刻機和無掩膜光刻機；下游為應用領域，包括芯片制作、芯片封裝、功率器件制造、LED、MEMS制造。
圖片來源：中商產業(yè)研究院
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