中商情報(bào)網(wǎng)訊：光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造過(guò)程中的關(guān)鍵設(shè)備。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在電動(dòng)汽車、風(fēng)光儲(chǔ)、人工智能等新需求的推動(dòng)下持續(xù)發(fā)展，光刻機(jī)前景廣闊。
一、光刻機(jī)的定義及分類
光刻機(jī)，又稱光刻對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)、掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)、曝光系統(tǒng)或光刻系統(tǒng)等，是光刻工藝乃至整個(gè)芯片制造過(guò)程中的核心設(shè)備。光刻機(jī)可以根據(jù)不同的分類標(biāo)準(zhǔn)劃分為多種類型，以下是一些常見的分類方式：
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